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半導(dǎo)體凈化車間級(jí)別

作者: 廣東卓為環(huán)境科技有限公司官網(wǎng)發(fā)表時(shí)間:2024-09-25 09:08:01瀏覽量:374

半導(dǎo)體凈化車間級(jí)別主要根據(jù)空氣中允許的顆粒物數(shù)量和大小來劃分,以確保半導(dǎo)體制造過程中的高潔凈度環(huán)境。以下是半導(dǎo)體凈化車間級(jí)別的詳細(xì)劃分和歸納: 半導(dǎo)體凈化車間級(jí)別 ISO潔凈度等級(jí): ISO 14644是國際上常用...
文本標(biāo)簽:凈化工程造價(jià),半導(dǎo)體無塵車間,凈化工程公司
半導(dǎo)體凈化車間級(jí)別主要根據(jù)空氣中允許的顆粒物數(shù)量和大小來劃分,以確保半導(dǎo)體制造過程中的高潔凈度環(huán)境。以下是半導(dǎo)體凈化車間級(jí)別的詳細(xì)劃分和歸納:
半導(dǎo)體凈化車間級(jí)別
ISO潔凈度等級(jí):
ISO 14644是國際上常用的潔凈室標(biāo)準(zhǔn),它定義了從ISO 1(最高潔凈度)到ISO 9(最低潔凈度)的多個(gè)等級(jí)。但在半導(dǎo)體制造中,通常使用更高的潔凈度等級(jí)。
常見半導(dǎo)體凈化車間等級(jí):
ISO 5級(jí)(Class 100):潔凈室內(nèi)每立方米空氣中直徑大于0.1μm的顆粒數(shù)不超過100個(gè)。這是半導(dǎo)體制造中常用的高潔凈度等級(jí),用于關(guān)鍵的生產(chǎn)步驟。
ISO 6級(jí)(Class 1000):潔凈室內(nèi)每立方米空氣中直徑大于0.1μm的顆粒數(shù)不超過1000個(gè)。用于對(duì)潔凈度要求稍低的生產(chǎn)步驟。
ISO 7級(jí)(Class 10000):潔凈室內(nèi)每立方米空氣中直徑大于0.5μm的顆粒數(shù)不超過10000個(gè)。在一些半導(dǎo)體制造過程中,這個(gè)等級(jí)也被采用。
其他等級(jí)劃分:
100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)和100000級(jí):這是另一種常見的潔凈度等級(jí)劃分方式,其中100級(jí)對(duì)應(yīng)ISO 5級(jí),1000級(jí)對(duì)應(yīng)ISO 6級(jí),以此類推。
超凈間(ULTRAZONE Rooms):
超凈間也稱為無菌室或生物安全柜,其空間要求比千級(jí)潔凈室更高。在超凈間內(nèi)工作的人員必須穿特殊的隔離服并帶面罩和手套才能進(jìn)入室內(nèi)操作。
潔凈度等級(jí)對(duì)半導(dǎo)體制造的影響
潔凈度等級(jí)越高,車間內(nèi)空氣中的顆粒物和微生物含量就越低,從而降低了半導(dǎo)體材料受到污染的風(fēng)險(xiǎn),提高了產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。
不同等級(jí)的潔凈室適用于不同的半導(dǎo)體制造過程,以滿足不同的工藝要求和質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。
總結(jié)
半導(dǎo)體凈化車間的級(jí)別劃分主要基于ISO 14644標(biāo)準(zhǔn),常見的等級(jí)包括ISO 5級(jí)(Class 100)、ISO 6級(jí)(Class 1000)和ISO 7級(jí)(Class 10000)。這些等級(jí)通過控制車間內(nèi)空氣中的顆粒物數(shù)量來確保半導(dǎo)體制造過程的高潔凈度環(huán)境。同時(shí),超凈間作為更高要求的潔凈環(huán)境,也在特定工藝步驟中得到應(yīng)用。


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